真空チャンバの製作
KFフランジ真空チャンバ・ICFフランジ超高真空チャンバまで形状問わずご相談下さい。
We fabricate UHV Chambers in Tokyo with high quality precision welding.
メインボディのパイプ厚は板厚3㎜までレーザーカットで穴開けが対応可能です。3㎜より厚肉のチャンバは機械で穴開けをすることで製作が可能です。
母管においては、巻きパイプや絞りの半球形状のチャンバも製作可能です。
枝管はTP-S、TP-Aまたは巻きパイプで形成、希望の形状に合うパイプを選定致します。
＊EP管は要相談下さい
表面処理は電解研磨をお勧めしておりますが焼取洗浄の対応も可能です。
UHV Chamber before Electrical polished
焼取洗浄
TAKI SERVICEでは株式会社ケミカル山本のマシンと中性の液でハンディ焼取を施しています。
焼け取り液の種類には酸性と中性がありますが、真空装置には中性液が良いです。酸性を使用すると一見乾いたと思って納品したり、装置に組み込んだりしたとしても、湿気の多い場所に置かれた際に酸性の溶剤だと乾いたはずの溶剤（結晶）が液体に戻ってしまうことが度々あります。これを防ぐ為にTAKI SERVICEでは必ず中性の溶剤を使用して焼け取りを行っています。
TAKI SERVICEでは、出来る限り内側から溶接する内溶接で真空チャンバを製作しています。
リークテストはアネルバ製のヘレンを使用してヘリウムリークテストを施しリークの無いことを確認しテスト票を添付して出荷しています。